[18a-C206-1~12] 1.6 超音波

△ [18a-C206-6] ボールSAWセンサの高速応答に基づく微量水分計の動的校正法の開発

〇岩谷 隆光¹、赤尾 慎吾¹、岡野 達広¹、竹田 宣生¹、辻 俊宏^1,2、大泉 透¹、福士 秀幸¹、菅原 真希¹、塚原 祐輔¹、山中 一司^1,2 (1.ボールウェーブ、2.東北大)

キーワード：弾性表面波、微量水分

Liイオン電池や有機ELの製造では工程ガス中の微量水分管理が重要であり、微量水分計の現場校正が望まれている。しかし、従来の一定水分濃度中でセンサ応答と水分濃度の関係を導く静的校正法は、正確な校正が可能だが、装置が大きく測定に長時間要するため現場適用が難しかった。本報告では、我々がこれまで開発してきた球状弾性表面波（ボールSAW）素子を用いた微量水分計の高速応答性を活かし、短時間の校正法を検討する。