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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18a-C212-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2019年9月18日(水) 09:00 〜 12:00 C212 (C212)

深田直樹(物材機構)、鳥越和尚(SUMCO)、杉村渉(SUMCO)

10:30 〜 10:45

[18a-C212-6] 超高温RTPによるSiウェーハ中の空孔-酸素複合体の形成

〇須藤治生^1,2、末岡浩治³ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大院情報系工、3.岡山県大情報工)

キーワード：シリコン、急速昇降温熱処理、点欠陥