[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-C309-9] 第一原理加速分子動力学法によるSi結晶中Li原子拡散の観察

〇山本 昌裕¹、石井 明男²、新里 秀平²、尾方 成信² (1.パナソニック、2.阪大院基礎工)

キーワード：分子動力学法、第一原理計算、拡散

反応に伴う現象を原子レベルで観察するためには空間的にも時間的にも大規模な解析が必要となる．特に時間に関しては，分子動力学(MD)法計算がステップを追った逐次計算であるため，並列計算では解決ができず決定的な解決策がない．
この問題を解決するために我々は，系にboost potentialを加えることによって反応を促進させる加速分子動力学法計算の開発を行い，Si結晶中のLi原子の拡散に適用し，拡散係数を求めたところ，実験値と良い一致をした．