[18a-C310-1~10] 6.6 プローブ顕微鏡

[18a-C310-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 二重バイアス変調静電引力顕微鏡における可変周波数測定

〇福澤 亮太¹、高橋 琢二^1,2 (1.東大生研、2.ナノ量子機構)

キーワード：静電気力顕微鏡、原子間力顕微鏡、走査型容量原子間力顕微鏡

走査型容量原子間力顕微鏡では，静電気力の周波数をカンチレバーの共振周波数に合わせることで高感度化を実現しているが，これにより測定周波数の選択制が悪くなってしまう．我々は，異なる二つの周波数の交流電圧を同時に印加する二十バイアス変調静電引力顕微鏡を提案することで，可変周波数での静電引力測定を実現した．一般的なMOS構造を用いて検証したところ，界面欠陥による静電気力の周波数特性を観測することができた．