[18a-E205-1~9] 3.2 材料・機器光学

[18a-E205-8] ランダム位相板を用いた深紫外レーザ光のビーム品質制御

〇田中 洋平¹、曲 晨¹、田丸 裕基¹、五十嵐 裕紀¹、淵向 篤¹、三浦 泰祐¹、藤本 准一¹、溝口 計¹ (1.ギガフォトン株式会社)

キーワード：深紫外レーザ、ランダム位相板

固体レーザと波長変換技術によって発生させた紫外の光パルスを種光とし、ArFレーザで増幅するハイブリッドArFレーザでは、集光性よりも強度の均一性が優先される等用途に応じてビーム特性のコントロールを行う必要がある。
ランダム位相板のパラメータを調節する事で透過するビームの特性が変化するが、レーザ光のビーム特性を表す代表的な指標であるM²とランダム位相板のパラメータとの関係を実験的に調べたので報告する。