[18a-E207-1~10] 15.1 バルク結晶成長

[18a-E207-9] Cz-LiTaO₃単結晶インゴットにおける多結晶化発生点の解析

〇大野 裕¹、梶ケ谷 富男² (1.東北大金研、2.住友金属鉱山)

キーワード：タンタル酸リチウム

多結晶化メカニズム解明のため、Cz法で育成されたLiTaO₃結晶内での転位分布、リニエージ分布、およびリネージを形成する転位のすべり系に関して観察、考察してきた。前回、結晶底部で多結晶化が発生した結晶の3次元評価より、多結晶化部ではV字型に配列した帯状構造(双晶構造)が形成されることを見出した。今回、双晶構造とリニエージの空間分布およびインゴットの形状について、多結晶化発生前後における変化に関して報告する。