[18a-E302-1~12] 12.2 評価・基礎物性

△ [18a-E302-9] ケルビンプローブフォース顕微鏡によるアルキルフタロシアニン塗布薄膜の界面物性評価

〇石裏 遼¹、藤井 彰彦¹、有田 誠²、須藤 孝一³、尾﨑 雅則¹ (1.阪大院工、2.九大院工、3.阪大産研)

キーワード：有機半導体、フタロシアニン、ケルビンプローブ顕微鏡

電子デバイス応用の観点から有機半導体塗布薄膜の界面物性の解明は重要である。本研究ではn-Si基板上に分子ステップ/テラス構造を有するアルキルフタロシアニン単結晶塗布薄膜を作製し、KFM観察を行うことによって、溶液プロセスで作製される有機半導体薄膜の界面物性の解明に成功した。表面電位差は膜厚に依存し、0.4 Vを超える変化が見られた。また、真空準位シフトとバンド曲がりとみられる線形及び非線形な変化も示した。