2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18a-E303-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2019年9月18日(水) 09:00 〜 12:15 E303 (E303)

嵯峨 幸一郎(ソニー)、蓮沼 隆(筑波大)

12:00 〜 12:15

[18a-E303-12] 光電子エネルギー損失信号によるSi系材料の複素誘電関数評価

大田 晃生1、田岡 紀之1、池田 弥央1、牧原 克典1、宮﨑 誠一1 (1.名大)

キーワード:光電子分光法、誘電関数