[18a-E303-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18a-E303-3] PVAブラシの摩擦に及ぼすスキン層の影響

〇山田 恵司¹、真田 俊之¹、水嶋 祐基¹、福永 明²、檜山 浩國² (1.静大工、2.荏原製作所)

キーワード：PVAブラシ、スキン層、CMP後洗浄