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[18a-E303-6] MOS界面におけるレーザーパルス励起THz波放射機構の考察
- 表面電場とフォトデンバー効果の分離 -
キーワード:MOS界面、THz波、表面電場
Laser Terahertz Emission Microscope (LTEM)を用いてMOS界面電場評価が可能である。一方、フラットバンド条件に近い場合は表面電場によるTHz波放射が弱く、励起された電子・正孔の拡散速度差により放射されるフォトデンバー効果を考慮する必要がある。2つの成分を分離する本結果によりLTEM計測の精度が向上し、MOS界面を含む界面評価技術としてより貢献できると考える。