2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18a-E303-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2019年9月18日(水) 09:00 〜 12:15 E303 (E303)

嵯峨 幸一郎(ソニー)、蓮沼 隆(筑波大)

10:45 〜 11:00

[18a-E303-7] パルス光伝導法によるシリコン酸化膜中の金属汚染評価

尾花 宏樹1、阿部 成海1、熊谷 祐希1、山下 拓真1、小笠原 稜2、濱田 樹2、吉井 稜2、久保田 弘1、橋新 剛1、吉岡 昌雄2 (1.熊大院自、2.熊本大学)

キーワード:パルス光伝導法