2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[18a-PA5-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

2019年9月18日(水) 09:30 〜 11:30 PA5 (第一体育館)

09:30 〜 11:30

[18a-PA5-7] オンチップ光回路へ向けた微結晶シリコンの光学特性評価

〇(M2)近藤 優一郎1、武井 亮平2、庄司 雄哉1、水本 哲弥1、亀井 利浩2 (1.東工大、2.産総研)

キーワード:シリコンフォトニクス、非線形光学、光変調器

μc-Si:Hは微結晶とアモルファスシリコン(a-Si:H)から成る化合物であり,PECVDによって低温(250℃)で結晶成長させることができる.また,μc-Si:Hはa-Si:Hと比較して導電率が高く,能動素子への応用も期待される.我々はオンチップ光能動素子への応用へ向けて,μc-Si:Hの通信波長帯における光学特性評価を行った.