[18a-PA5-1~8] 3.15 Silicon photonics

[18a-PA5-7] Investigation in microcrystalline silicon waveguide for on-chip photonic active devices

〇(M2)Yuichiro Kondo¹, Ryohei Takei², Yuya Shoji¹, Tetsuya Mizumoto¹, Toshihiro Kamei² (1.Tokyo Tech, 2.AIST)

Keywords:Silicon photonics, Nonlinear optics, Optical modulator

μc-Si:Hは微結晶とアモルファスシリコン(a-Si:H)から成る化合物であり，PECVDによって低温(250℃)で結晶成長させることができる．また，μc-Si:Hはa-Si:Hと比較して導電率が高く，能動素子への応用も期待される．我々はオンチップ光能動素子への応用へ向けて，μc-Si:Hの通信波長帯における光学特性評価を行った．