[18a-PA6-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[18a-PA6-1] 表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における絶縁表面電位の時間変化

〇福田 奨¹、鈴木 陽香¹、村田 祐也²、山本 兼司²、豊田 浩孝¹ (1.名大工、2.神戸製鋼所)

キーワード：プラズマ