[18a-PA6-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[18a-PA6-3] デスクトップ型ECRイオン源用ウィーンフィルタの分解能向上

〇鵜山 博也¹、浅地 豊久¹、中村 翼²、人母 岳³、加藤 裕史⁴ (1.富山高専、2.大島商船高専、3.立山マシン、4.阪大院工)

キーワード：プラズマ、イオン源

従来のイオン注入機は，主に1価のイオンを利用するものであったため装置が大型・高価であった．本研究室では電子サイクロトロン共鳴（Electron Cyclotron Resonance, ECR）イオン源により多価イオンを生成し利用することで，装置全体を小型化したイオンビーム装置の開発を行なっている．また，質量分析器には装置の小型化に適したWien filterを採用した．発表では，Wien filterの質量分離分解能向上について報告する．