[18a-PA6-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[18a-PA6-9] 二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測

〇三矢 晶洋¹、森山 誠¹、中原 尚哉¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：イオンエネルギー分布、二周波重畳容量結合型プラズマ