[18a-PB3-1~47] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-PB3-7] 高温アニールAlNテンプレート上AlGaN多重量子井戸のMOVPE成長

〇河端 一輝¹、窪谷 茂幸²、上杉 謙次郎²、正直 花奈子¹、三宅 秀人^1,3 (1.三重大 院工、2.三重大 地域創生戦略企画室、3.三重大 院地域イノベ)

キーワード：高温アニールAlN、MOVPE、AlGaN