[18p-B31-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[18p-B31-13] GaAs基板上に作製したマイクロレンズ

〇今岡 達哉¹、神原 誉¹、佐々木 大志¹、下村 哲¹ (1.愛大工)

キーワード：GaAs、エッチング、マイクロレンズ

GaAs基板にマスクをした第一エッチング、マスクを外しておこなう第二エッチングにより、赤外面発光レーザーやLED用の集光レンズを作製することをめざした。リン酸系エッチャントのエッチング時間を調整しマイクロレンズを作製する条件を見出し、集光できることを実証した。