[18p-B31-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[18p-B31-14] GaAs基板を用いたマイクロレンズの設計

〇神原 誉¹、佐々木 大志¹、今岡 達哉¹、下村 哲¹ (1.愛媛大院理工)

キーワード：エッチング、GaAs