[18p-C309-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [18p-C309-13] スパッタリング成膜中のレーザー効果によるZnO薄膜上のナノ粒子生成

〇(M2)若木 航¹、三瓶 明希夫¹、蓮池 紀幸¹、鴨井 督²、比村 治彦¹ (1.京工大、2.京府中技セン (現所属：京府ものづくり振興課))

キーワード：酸化亜鉛、スパッタリング、レーザー

私たちはこれまでRFスパッタリング中にレーザーを援用することでZnO薄膜上にナノ粒子が生成されることを報告してきたが，このナノ粒子生成の物理現象は未だ解明できていない．今回このナノ粒子生成において，酸素流量を変化させて依存性を観察したので報告する．