[18p-C309-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18p-C309-2] マイクロ・ナノ構造チタンへのH₂-N₂プラズマ照射効果

〇(M2C)林 仲秋¹、王 鶴¹、青山 直樹¹、鈴木 俊明¹、丹羽 雅昭¹、本橋 光也¹ (1.東電大工)

キーワード：プラズマ処理、チタン、微細構造

チタン材料は生体、バイオ、電子・光デバイスなどへの応用が検討されている。そして、それらの表面物性及び特性を制御するために、プラズマ処理が多く用いられている。この処理効果を高め、更に新機能を付加させるために、本研究では微細構造を持つチタン表面へのグロー放電プラズマ処理効果について検討した。その結果、表面構造のサイズによって処理効果の程度が異なることが分かった。