[18p-C309-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18p-C309-3] 熱電子放出フィラメントを援用したMVP法による長尺物上被膜の超高速除去技術の開発

〇(M2)古田 昌也¹、上坂 裕之¹、古木 辰也¹、山川 晃司² (1.岐阜大工、2.片桐エンジニアリング)

キーワード：プラズマ、除膜、MVP法