[18p-E206-1~12] 3.9 テラヘルツ全般

△ [18p-E206-10] カーボンナノチューブ検出器アレイ を用いたテラヘルツ 三 次元形状判別

〇(B)和田 翔太¹、李 恒¹、徳本 悠¹、湯浅 遼一¹、孫 美玲¹、卯滝 崚伍¹、河野 行雄¹ (1.東工大未来研)

キーワード：テラヘルツセンシング、カーボンナノチューブ、非破壊形状判別

非破壊・非接触検査における強力な手法として、テラヘルツ（THz）イメージング・センシング技術が大きな注目を集めている。これらの応用実現に向け、今回我々は、THz波検出素子であるカーボンナノチューブ（CNT）を並べたCNTアレイスキャナーを作製し、新たに簡便な検査対象物の非破壊三次元形状判別手法を確立したことに加え、従来の三次元湾曲表面画像計測技術を大きく前進させる成果を得たため、これを報告する。