[18p-E214-1~13] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [18p-E214-1] ラマン分光法による酸化膜被覆プロセスの異なるSOI薄膜における熱伝導特性評価

〇竹内 悠希¹、横川 凌^1,2、富田 基裕³、渡邉 孝信³、小椋 厚志¹ (1.明大理工、2.学振特別研究員 DC、3.早大理工)

キーワード：熱電材料、フォノン、シリコン酸化膜