[18p-E307-1~15] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[18p-E307-5] 酸素等ガス雰囲気下での単層カーボンナノチューブ電界電子放出

〇下位 法弘¹、田路 和幸¹ (1.東北大環境)

キーワード：電界電子放出、単層カーボンナノチューブ、低真空

半導体プロセスで使用する反応性エッチングガスから必要なラジカルのみ生成するエッチングガス特定解離制御システムの電子源基礎構築を目指すために、エネルギーの揃った電子をガスに照射しなくてはならない。我々は電子線のエネルギーを任意に制御でき、かつエネルギー分布幅が狭い電界電子放出（FE）機構の応用を検討するために高結晶化単層カーボンナノチューブ(SWCNT)を用いた平面型電界電子放出電子源を構築した。結果、酸素等が添加された低真空環境下における電界電子放出特性の観測に成功した。