[18p-E307-1~15] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[18p-E307-7] X線吸収法による平坦基板上カーボンナノチューブ薄膜の密度測定

〇表 和彦¹、廣瀬 雷太¹、野田 啓²、今山 直也²、遠藤 亮³、杉山 直之³ (1.リガクX線研、2.慶應大理工、3.東レリサーチセンター)

キーワード：カーボンナノチューブ、密度測定、X線透過率

カーボンナノチューブ，特に基板上に成膜される垂直配向膜は，電子デバイス・各種センサー・熱伝導材・Supercapacitorなど，多彩な応用の可能性がある材料であり，多くの研究が成されている．実際の応用に際しては，膜密度は特性を決める非常に重要なパラメータである．われわれは，薄膜試料に，基板に平行方向にX線を透過させることにより，膜部分を透過したX線の透過率を測定することにより，膜密度が算出可能であることを示した．