[18p-E307-1~15] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[18p-E307-9] フレキシブルカーボンナノチューブ薄膜トランジスタのヒステリシス抑制

〇(M2)嶋崎 悠斗¹、廣谷 潤¹、岸本 茂¹、大野 雄高^1,2 (1.名大工、2.名大未来研)

キーワード：半導体、カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ、ヒステリシス

カーボンナノチューブ薄膜トランジスタは高い移動度と機械的柔軟性を備え、フレキシブルエレクトロニクスへの応用が期待されている。一方で、大気中の水や酸素に起因するヒステリシスなどの不安定性が生ずることが知られている。素子安定化のためには高温でベーキングし、吸着分子を除去することが望ましい。本研究では、比較的高温で使用可能なポリイミドフィルムを基板とし、柔軟性を有する素子でヒステリシスの低減を狙った。