[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-16] DLC膜の電気的絶縁性および耐熱性評価

〇(M2)中島 大地¹、桒原 大樹²、安中 茂²、藤井 慎也³、森口 秀樹³、辻岡 正憲³、平栗 健二¹ (1.東京電機大学大学院、2.仲代金属、3.日本アイ・ティ・エフ)

キーワード：ダイヤモンド状炭素薄膜、絶縁材料、耐熱性

コイル用導線は導体の周りを絶縁皮膜としてエナメルによりコーティングされている。この絶縁皮膜の標準的な厚さは極めて厚く、耐熱性、摺動性、薄膜被覆性に課題もある。さらに、絶縁皮膜は機械的強度や耐薬品なども併せ持つことが要求される。DLCは高い電気抵抗を有しており、極薄絶縁材料として期待されている。本研究では、絶縁皮膜の薄膜化および加熱劣化の改善を目的とし、絶縁皮膜に要求される特性について評価した。