[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-9] BrCNのArマイクロ波プラズマ分解によるa-CNx薄膜の作製と構造解析

〇高井 翼¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：プラズマCVD、アモルファス、窒化炭素