[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA5-6] パルス化DCプラズマCVD法によるSUS304へのホウ化処理の基礎研究

〇倉本 拓実¹、鈴木 泰之¹ (1.三重大院工)

キーワード：CVD、ホウ化処理