[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA5-8] ヘリウム照射で合成された繊維状ナノ構造のガスセンサ特性

〇伊庭野 健造¹、上畑 憲矢¹、平井 一生¹、上田 良夫¹ (1.阪大工)

キーワード：酸化物半導体、プラズマ、ガスセンサ

Heプラズマ照射によって遷移金属に形成される繊維状ナノ構造は、核融合炉におけるプラズマ材料相互作用の研究で発見され、遷移金属が融点の1/3程度の温度でHe照射を受けると自然に成長することが知られている。本研究では、同構造が持つ高い構造複雑性、大幅な表面積増加に着目し、高性能なガスセンサへの応用可能性を調べた。