[18p-PB1-1~84] 10 Spintronics and Magnetics (Poster)

[18p-PB1-69] Study of crystal evaluation method for MTJ with annealing

〇Yumiko Shimizu¹, Mitsunobu Yasuda¹, Megumi Nishimura¹ (1.Toray Research Center,Inc)

Keywords:MTJ, EELS, ACOM-TEM

MTJ（magnetic tunnel junction）素子は、アニール温度によってTMR比が変化することが知られている。今回はこの構造の主流となっているCoFeB／MgO／CoFeBの積層試料について、加熱昇温に伴う結晶成長や元素分布の変化をナノレベルで評価した結果を報告する。