[18p-PB4-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [18p-PB4-5] Si結晶中の金属不純物の安定性に与える応力の影響

〇(M1)岩城 浩也¹、末岡 浩治²、鳥越 和尚³、小野 敏昭³ (1.岡山県大院、2.岡山県大、3.SUMCO)

キーワード：応力、金属、Si結晶

結晶成長，ウェーハ製造，電子デバイス製造などの工程においてSi結晶には様々な応力が負荷され，その大きさはMPa～GPaオーダーに達している．このような応力下では不純物の形成エンタルピーが変化し，それに伴い熱平衡濃度も変化するため応力の影響はSi結晶の高品位化やデバイスの信頼性に影響する．本発表では第一原理計算を用い応力がSi結晶中の軽元素や金属不純物の形成エンタルピーに与える影響について基礎データを得た．