2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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[18p-PB4-1~12] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PB4 (第二体育館)

16:00 〜 18:00

[18p-PB4-5] Si結晶中の金属不純物の安定性に与える応力の影響

〇(M1)岩城 浩也1、末岡 浩治2、鳥越 和尚3、小野 敏昭3 (1.岡山県大院、2.岡山県大、3.SUMCO)

キーワード:応力、金属、Si結晶

結晶成長,ウェーハ製造,電子デバイス製造などの工程においてSi結晶には様々な応力が負荷され,その大きさはMPa~GPaオーダーに達している.このような応力下では不純物の形成エンタルピーが変化し,それに伴い熱平衡濃度も変化するため応力の影響はSi結晶の高品位化やデバイスの信頼性に影響する.本発表では第一原理計算を用い応力がSi結晶中の軽元素や金属不純物の形成エンタルピーに与える影響について基礎データを得た.