[19a-B31-1~5] 薄膜表面・界面評価法の新展開

[19a-B31-3] 酸化物界面物性と電子デバイス応用

〇澤 彰仁¹、山田 浩之¹ (1.産総研)

キーワード：酸化物、界面、デバイス応用

界面制御した酸化物超格子、強誘電トンネル接合を中心に、界面構造と物性、デバイス特性に関する研究を紹介する。