[19a-C213-1~7] 2.2 検出器開発

[19a-C213-2] 4H-SiCエピタキシャル層によるX線検出に関する検討

〇宮田 篤希¹、齋藤 大樹¹、星井 拓也¹、若林 整¹、筒井 一生²、角嶋 邦之¹ (1.東工大工学院、2.東工大科学技術創成研究院)

キーワード：放射線、検出器、半導体