2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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[19a-E304-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2019年9月19日(木) 09:00 〜 12:00 E304 (E304)

米谷 玲皇(東大)、福島 誉史(東北大)

09:00 〜 09:15

[19a-E304-1] シリコン電極薄型燃料電池の開発
-電気化学原子層堆積法によるPdとPtの原子層作製と評価-

入田 賢1、小船 想士朗1、黒瀬 智洋1、早瀬 仁則1、Vasiljevic Natasa2 (1.東理大理工、2.Univ. of Bristol)

キーワード:MEMS、触媒、電気化学原子層堆積法

我々は,これまでに電気化学原子層堆積法(ALD)によるAu-Pd-Pt多層触媒の作製,そして小型燃料電池への応用研究を行ってきた.電気化学的ALDにより多孔質Au上にPdとPtの原子層を堆積形成したAu-Pd-Pt多層触媒は,O2と100 ppm COを含んだH2を用いた場合でも約100 mW/cm2の発電を行うことができ,性能低下がないことを確認している.作製したPdとPtの原子層が高いCO耐性を示している.本発表では,作製したPdとPtの原子層について,電子顕微鏡による構造評価とCO耐性の関係について発表する.