米谷玲皇

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座長等

2019年9月19日(木) 13:30 〜 17:30 E302 (E302)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム（technical)
| 先端イオン顕微鏡技術って何？ナノスケール材料・デバイスへの展開

[19p-E302-1~8] 先端イオン顕微鏡技術って何？ナノスケール材料・デバイスへの展開

中払周(物材機構)、米谷玲皇(東大)、水田博(北陸先端大)、小川真一(産総研)

2019年9月19日(木) 09:00 〜 12:00 E304 (E304)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19a-E304-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

米谷玲皇(東大)、福島誉史(東北大)