[19a-E304-1~12] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[19a-E304-1] Miniature Fuel Cell with Monolithically Fabricated Si Electrodes
-Characterization of Pd and Pt Atomic Layer Produced by Electrochemical ALD-

〇Masaru Irita¹, Soushiro Kobune¹, Tomohiro Kurose¹, Masanori Hayase¹, Natasa Vasiljevic² (1.Tokyo Univ. of Science, 2.Univ. of Bristol)

Keywords:MEMS, catalyst, atomic layer deposition

我々は，これまでに電気化学原子層堆積法(ALD)によるAu-Pd-Pt多層触媒の作製，そして小型燃料電池への応用研究を行ってきた．電気化学的ALDにより多孔質Au上にPdとPtの原子層を堆積形成したAu-Pd-Pt多層触媒は，O₂と100 ppm COを含んだH₂を用いた場合でも約100 mW/cm²の発電を行うことができ，性能低下がないことを確認している．作製したPdとPtの原子層が高いCO耐性を示している．本発表では，作製したPdとPtの原子層について，電子顕微鏡による構造評価とCO耐性の関係について発表する．