[19a-E304-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19a-E304-3] 全方位走査のためのジンバル型二軸共振MEMSスキャナ

〇鈴木 克也¹、佐々木 敬¹、羽根 一博¹ (1.東北大)

キーワード：MEMS