[19a-E310-1~10] 15.4 III-V-group nitride crystals

[19a-E310-4] Focusing Grating Coupler for AlN Waveguide SHG Device

〇(M2)Yoshiki Morioka¹, Masahiro Uemukai¹, Kenjiro Uesugi², Kanako Shojiki², Hideto Miyake², Takaya Morikawa¹, Yasufumi Fujiwara¹, Tomoyuki Tanikawa¹, Ryuji Katayama¹ (1.Osaka Univ., 2.Mie Univ.)

Keywords:AlN, Grating Coupler, optical waveguide

我々はAlN横型擬似位相整合チャネル導波路SHGデバイスを作製し、青色領域におけるSHGを実証した。しかし、その導波路断面は微小であり、端面結合によるレーザ光入射は非常に困難である。導波路型グレーティング結合器を用いれば、その開口の大きさより入射ビームの位置合わせが格段に容易となる。本研究では、AlNチャネル導波路にレーザ光を結合させる集光グレーティング結合器とテーパ型導波路の設計と作製を行った。