[19a-E312-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-E312-2] 高輝度ファセットレス電子源の実現に向けた表面炭素修飾

〇松永 宗一郎¹、早田 康成¹ (1.日立研開)

キーワード：電子源、非晶質、輝度

電子顕微鏡の性能向上には、大電流を微小光源から発する即ち輝度が高い電子源が求められている。光源の極小化により輝度を向上する方法が主流だが、電流量も減少する問題がある。我々は一つの解決方法として非晶質炭素による電子源のファセットレス化を目指している。実際に非晶質カーボンで電子源先端を形成し、その組成評価および電子状態評価を行った。