[19a-E317-1~10] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

△ [19a-E317-10] InAs/InPコアシェルナノワイヤ縦型サラウンディングゲートトランジスタにおける変調ドープ構造の検討

〇蒲生 浩憲¹、本久 順一¹、冨岡 克広¹ (1.北大量子集積センター)

キーワード：ナノワイヤ、トランジスタ、コアシェル