[19a-E318-1~12] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[19a-E318-12] Ge試料表面構造のXANAM像の取得

〇鈴木 秀士¹、向井 慎吾²、田 旺帝³、野村 昌治⁴、藤森 俊太郎¹、池田 弥央¹、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹、朝倉 清高² (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード：放射光X線、非接触原子間力顕微鏡、ゲルマニウム

試料表面の化学分析をナノスケールで行う手法として、NC-AFMと放射光X線を組み合わせたX線支援非接触原子間力顕微鏡（XANAM）を開発してきた。これまで、X線照射下のGe試料表面でも、Ge-K X線吸収端の近傍で力の変化が誘起されうることを報告した。今回は、Ge試料のイメージングへの拡張として2次元の計測時間を短縮する改良を施し、Ge単結晶試料およびGe量子ドットを計測した結果を報告する。