[19a-N304-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[19a-N304-3] ArFレーザーを用いたシリコーンゴム表面への微細隆起構造の作製

〇横山 岬¹、吉田 剛¹、松木 伸行²、大越 昌幸¹ (1.防衛大電気電子、2.神大工)

キーワード：ArFエキシマレーザー、シリコーンゴム

これまで我々は，波長193 nm のArFエキシマレーザーを用いたシリコーンゴム表面の光化学的改質により, その表面に超撥水性を発現する微細隆起構造を作製可能であることを報告した。撥水性は隆起構造の形状や高さに影響され、高さや形状の最適化により撥水性の制御が可能になると期待される。本研究では，隆起構造の高さがレーザー照射条件の一つであるパルス繰り返し周波数により変化することを見出したので報告する。