[19a-PA3-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[19a-PA3-9] フォトンカウンティングの実現に向けた結晶セレン膜積層型画素並列信号処理イメージセンサの検討

〇後藤 正英¹、為村 成亨¹ (1.NHK放送技術研究所)

キーワード：イメージセンサ、フォトンカウンティング、結晶セレン

光子を1つ1つ検出可能なフォトンカウンティングの実現を目指して、画素並列で信号処理を行う回路上に、高効率な結晶セレン（c-Se）光電変換膜を積層したイメージセンサの研究を進めている。今回、128 × 96画素のセンサを試作し、c-Se光電変換膜と画素並列信号処理回路を組み合わせたイメージセンサとしての撮像動作を初めて確認した。これにより、フォトンカウンティングを行うセンサの実現に見通しを得た。