[19a-PA4-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-PA4-8] スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究

中島 義治¹、氷室 貴大¹、〇齋藤 洋司¹、渡邊 良祐² (1.成蹊大院理工、2.弘前大理工)

キーワード：シリコン太陽電池、パッシベーション、アルミナ膜

負の固定電荷を持つと考えられるアルミナを簡易で低コストに行えるスピンコートにより成膜を行い、バンドベンディングによる表面パッシベーションの実現を目指している。本報告では、パッシベーション効果の安定性について検討した。