[19a-PB2-1~39] 11 超伝導（ポスター）

[19a-PB2-28] 超伝導量子回路応用のための原子層堆積法による窒化チタン薄膜成膜条件最適化

〇牧瀬 圭正¹、藤井 剛¹、浮辺 雅宏¹ (1.産総研)

キーワード：原子層堆積法、薄膜、窒化チタン