[19p-B01-1~6] Power Electronics and Technology of Thin Films - Surfaces. For realization of low energy consumption society

[19p-B01-5] Thin Film Technology for SiC Power Devices

〇Tsunenobu Kimoto¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:power device, SiC

SiCは次世代の高耐圧・低損失パワー半導体として注目され、SiCパワーMOSFETとショットキー障壁ダイオードの量産が始まった。本報告では、SiCパワー半導体のエピタキシャル成長と酸化膜形成に注目し、その基礎技術、物理的理解、および今後の課題について概説する。