[19p-B11-1~8] 界面ナノ電子化学『多様化する半導体ウェットプロセス』

[19p-B11-5] 多様化する電子デバイスの物理洗浄
～スプレー洗浄の有用性とその課題～

〇清家 善之¹ (1.愛知工大)

キーワード：電子デバイス、物理洗浄、スプレー

半導体デバイス、MEMS、フラットパネルディスプレー（FPD）の製造において、ウエットプロセスの洗浄工程は多く存在する。本報告では、各種のスプレー式洗浄の特徴を明確にし、実際にポリスチレンラテックス粒子(PSL粒子)を塗布したサンプル基板を用いて、それらの洗浄性を実験によって確認した。