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[19p-B12-1] 【注目講演】多結晶材料情報学による高性能シリコンインゴットの創製に向けて
キーワード:多結晶シリコン、機械学習、画像処理
本研究では、大量の実用多結晶ウェーハに対するデータ収集・機械学習・理論計算の連携により、一般粒界の構造・物性の理論構築を行う「多結晶材料情報学」を開拓し、シリコンを対象としてその有用性を実証することを目指している。本講演では、シリコンインゴットの組織や欠陥の3次元構造に含まれる様々な数値情報を取得・解析する手法、機械学習による結晶粒方位分布や粒界の電気的特性の推定などについて報告する。