[19p-B31-1~8] 薄膜表面・界面評価法の新展開

[19p-B31-5] 近接場光学顕微鏡による窒化物半導体ナノ構造の光学評価

〇川上 養一¹ (1.京大院工)

キーワード：近接場光学顕微鏡、窒化物半導体、発光ダイナミクス

近接場光学顕微分光法（SNOM）は，窒化物半導体のナノ構造の光物性を評価するのに大変有用な手法である．本シンポジウムでは，フォトルミネッセンスマッピングをイルミネーション，イルミネーション-コレクション，コレクションモードで行うマルチモードSNOMの測定原理，装置開発，実験例について報告する．